Aplicação de componentes ópticos em máquinas de litografia

Em máquinas de litografia, o sistema óptico é responsável por focar e projetar o feixe de luz emitido pela fonte de luz no wafer de silício para atingir a exposição de padrões de circuito. Portanto, o projeto e a otimização de componentes ópticos em sistemas de litografia são cruciais para melhorar o desempenho de máquinas de litografia.

Lente de projeção

A lente de projeção em uma máquina de litografia normalmente consiste em uma série de lentes, incluindo lentes convexas, lentes côncavas e prismas. Sua função é focar e projetar o feixe de luz emitido pela fonte de luz. Em uma máquina de litografia, a lente de projeção reduz o padrão de circuito na máscara a uma determinada escala e, em seguida, focaliza-o no wafer revestido por fotorresistência.

Sistema de alinhamento óptico

O sistema de alinhamento óptico comoCubo de alinhamento ópticoEm uma máquina de litografia é usada principalmente para garantir a precisão de alinhamento entre o photomask e o wafer de silício. Durante o processo de litografia, erros em equipamentos e materiais podem causar desvios posicionais entre o fotomasco e o wafer de silício, levando a distorção ou imprecisão nas formas do padrão. Portanto, o sistema de alinhamento usa componentes ópticos precisos, como espelhos de referência, lentes padrão e codificadores ópticos para medir e ajustar, garantindo alinhamento de alta precisão e imagem durante o processo de litografia.

Lentes ópticas

Espelhos ópticos: Os espelhos são usados em máquinas de litografia para mudar a direção do caminho da luz, guiando a luz para a posição correta. A precisão e a estabilidade da superfície deEspelhos ópticosImpactar significativamente o desempenho da máquina de litografia.

Divisores de feixe: divisores de feixe da liderançaFábrica de divisor de feixeSão componentes ópticos que dividem um único feixe de luz em vários feixes. Eles são usados em máquinas de litografia para gerar vários feixes paralelos, permitindo a exposição simultânea de vários chips.

Grades: Grades são componentes ópticos que dividem a luz em vários subfeixes e controlam sua fase e amplitude. Eles são usados em máquinas de litografia para criar padrões e estruturas complexas.

Filtros: Filtros fabricados peloEmpresa de filtros ópticosSão usados para filtrar comprimentos de onda indesejados de luz, melhorando a precisão e a qualidade da litografia.