CHANGCHUN BENA OPTICAL PRODUCTS CO., LTD.
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Aplicação de componentes ópticos em máquinas de litografia

Em máquinas de litografia, o sistema óptico é responsável por focar e projetar o feixe de luz emitido pela fonte de luz no wafer de silício para atingir a exposição de padrões de circuito. Portanto, o projeto e a otimização de componentes ópticos em sistemas de litografia são cruciais para melhorar o desempenho de máquinas de litografia.

Lente de projeção

A lente de projeção em uma máquina de litografia normalmente consiste em uma série de lentes, incluindo lentes convexas, lentes côncavas e prismas. Sua função é focar e projetar o feixe de luz emitido pela fonte de luz. Em uma máquina de litografia, a lente de projeção reduz o padrão de circuito na máscara a uma determinada escala e, em seguida, focaliza-o no wafer revestido por fotorresistência.

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Sistema de alinhamento óptico

O sistema de alinhamento óptico em uma máquina de litografia é usado principalmente para garantir a precisão de alinhamento entre o fotomasco e o wafer de silício. Durante o processo de litografia, erros em equipamentos e materiais podem causar desvios posicionais entre o fotomasco e o wafer de silício, levando a distorção ou imprecisão nas formas do padrão. Portanto, o sistema de alinhamento usa componentes ópticos precisos, como espelhos de referência, lentes padrão e codificadores ópticos para medir e ajustar, garantindo alinhamento de alta precisão e imagem durante o processo de litografia.

Lentes ópticas

Espelhos ópticos: Os espelhos são usados em máquinas de litografia para mudar a direção do caminho da luz, guiando a luz para a posição correta. A precisão da superfície e a estabilidade dos espelhos impactam significativamente o desempenho da máquina de litografia.

Divisores de feixe:Os divisores de feixe são componentes ópticos que dividem um único feixe de luz em vários feixes. Eles são usados em máquinas de litografia para gerar vários feixes paralelos, permitindo a exposição simultânea de vários chips.

Grades: Grades são componentes ópticos que dividem a luz em vários subfeixes e controlam sua fase e amplitude. Eles são usados em máquinas de litografia para criar padrões e estruturas complexas.

Filtros:Os filtros são usados para filtrar comprimentos de onda indesejados de luz, melhorando a precisão e a qualidade da litografia.


Componentes ópticos