1. ligue o computador e o monitor
Entrada: Nome do usuário: zygo
Senha: Nenhum
Login para o sistema operacional
2. ligue o poder do anfitrião do interferômetro, e aqueça o interferômetro por 15 ~ 20 minutos para fazê-lo funcionar de forma estável.
3. Clique duas vezes no ícone MetroPro na área de trabalho do computador para entrar no software de medição MetroPro.
Ligue o interruptor de energia e a luz indicadora estará acesa.
1. clique com o botão esquerdo do mouse no ícone do aplicativo de medição correspondente para abrir o aplicativo de teste.
Por exemplo: abra GPI.app
2. construa o caminho óptico de teste (incluindo o espelho padrão e a amostra), ajuste as franjas de interferência e consulte o método de medição específico na parte de trás.
Configure o caminho óptico de teste (incluindo espelho padrão e amostra) e ajuste as franjas de interferência. Configure os parâmetros de medição necessários no software MetroPro, consulte o manual de software MetroPro.
3. Clique no botão Medida no software ou pressione a tecla F1 no teclado para concluir a medição e exibir os resultados.
4. Salve o relatório de teste. Clique no símbolo “zygo” com o botão esquerdo do mouse para imprimir ou salvar a imagem da janela.
5. Clique no botão Salvar dados no software para salvar os dados de teste.
1. Feche o software MetroPro
Clique no botão X no canto superior direito do MetroPro, uma caixa de diálogo irá aparecer, clique em SIM para fechar o software MetroPro.
2. Desligue a unidade principal do interferômetro
Desligue o interruptor de energia da unidade principal e a luz indicadora se apagará.
3. desligue o computador e o monitor.
Instale o elemento de transmissão
Aviso!
Não toque no elemento transmissivo com as mãos durante as seguintes etapas. As impressões digitais podem danificar permanentemente o óptico
Revestimento e a superfície da óptica.
1. Remova o elemento transmissivo de sua caixa protetora agarrando a borda de metal do elemento.
2. Alinhe as duas abas de metal na borda do elemento transmissivo com os dois slots correspondentes no suporte de ajuste da unidade principal.
AVISO!
Quando o sistema estiver instalado em uma configuração vertical, não solte o elemento transmissivo até que ele tenha sido bloqueado no lugar, seguindo as etapas abaixo.
3. Coloque suavemente o elemento transmissivo no suporte de ajuste do mainframe, mantendo as bordas de metal do elemento do grupo no lugar com a mão. Gire o botão de travamento preto
Gire o botão de travamento preto no sentido horário, o que prenderá a unidade ao suporte de ajuste.
NOTA: Quando chegar a hora de remover a unidade do suporte de ajuste, segure a unidade manualmente da borda de metal da unidade enquanto gira o botão de travamento no sentido anti-horário.
Quando chegar a hora de remover o módulo do suporte de ajuste, segure o módulo manualmente da estrutura de metal do módulo e solte os parafusos de fixação no sentido anti-horário.
Antes de fazer medições com o interferômetro, você deve alinhar o elemento transmissivo com o interferômetro e alinhar a amostra de medição com o elemento transmissivo.
Em seguida, alinhe a amostra de medição com o elemento transmissivo. Como alinhar o elemento transmissivo é descrito abaixo. A calibração da amostra de medição é descrita em detalhes em “Medição da qualidade da superfície”.
Medindo a qualidade da superfície ”e 'Medindo a qualidade da frente de onda transmitida '.
1. Confirme se o interruptor da barra de luz está na posição ON. (Verifique se o interruptor da barra de luz está na posição ON.)
2. Pressione o botão ALIGN/VIEW no controle remoto. A mira alvo calibrada e um ou mais pontos brilhantes serão exibidos no monitor.
No monitor. O ponto mais brilhante representa o reflexo da luz da superfície mais externa do elemento transmissivo.
A amostra a ser medida é calibrada com o elemento transmissivo. Depois que a amostra foi calibrada, a medição é simplesmente uma questão de pressionar uma tecla Measure no software MetroPro. Quer o interferômetro seja colocado verticalmente ou horizontalmente, é geralmente aceito que a cavidade de medição (ou distância do espelho amostra-padrão) deve ser feita o maior possível.
Distância da amostra ao espelho padrão) o mais curto possível. Isso minimizará a distorção da frente de onda medida pelo fluxo de ar.
Montagem do espelho de referência Transmissão Plana (TF): Coloque os dois pinos de metal na lente nas lâminas no quadro de ajuste do interferômetro.
1. Deslize os dois p de metalIns na lente para os slots no suporte de ajuste do interferômetro, segure a estrutura de metal da lente e gire a lente no sentido horário, em seguida, aperte o botão de travamento na lateral.
Em seguida, aperte o botão de travamento na lateral.
2. Alinhe a lente padrão: Pressione o botão ALIGN/VIEW do controle remoto para mudar a tela de exibição para o estado ALIGN, e a imagem do filamento cross-hair aparece no plano. Ajuste os dois botões no suporte de ajuste da unidade principal do interferômetro até que o ponto de luz mais brilhante na tela esteja no centro do filamento cruzado. 3.
3. Coloque a amostra a ser medida no quadro de ajuste de medição: ajuste o botão de inclinação do quadro de ajuste até que o ponto brilhante da parte medida na tela também esteja no centro da linha transversal, coincidindo com o ponto de luz refletida da lente.
4. Pressione o botão ALIGN/VIEW do controle remoto novamente para mudar a tela de exibição para “Visualizar”, e as franjas de interferência devem aparecer na tela. Pressione o botão ZOOM para aumentar e diminuir o zoom para que a imagem da superfície que deseja medir preencha a tela o máximo possível. 5.
5. Coloque um pedaço de papel ou outro marcador o mais próximo possível da peça a ser medida, isso fornecerá uma borda distinta para o foco. Pressione o botão FOCUS no controle remoto para focar, tornando a imagem de ponta a ponta e focalize para torná-la de ponta a ponta.
6. ajuste o botão de ajuste da inclinação do rack de ajuste da amostra para zerar as franjas (para que as franjas de interferência sejam minimizadas).
7. Pressione a tecla MEDIDA no MetroPro ou na tecla F1 no teclado para realizar a medição.
1. não toque na unidade principal ou na plataforma anti-vibração durante a medição.
2. a fim de minimizar o risco de choque elétrico, o instrumento deve ser bem aterrado eletricamente através da fonte de alimentação de saída.
3, no manual do interferômetro para ler sobre as instruções de segurança do laser.
4. não mova a unidade principal. Se for necessário mover, por favor, use as duas alças especiais projetadas na parte superior do instrumento para
Se for necessário mover, use as duas alças especiais projetadas na parte superior do instrumento para movê-lo com cuidado, e não toque na cerâmica piezoelétrica diretamente com as mãos para movê-la à força.
A cerâmica piezoelétrica é uma estrutura de alta precisão, fácil de ser danificada pela força, portanto, evite força externa a qualquer momento. Como mostrado na figura:
Manutenção do anfitrião
A unidade principal é praticamente livre de manutenção, no entanto, é muito importante operar o instrumento em um ambiente relativamente limpo.
No entanto, é muito importante operar o instrumento em um ambiente relativamente limpo. Se você precisar limpar o alojamento da unidade principal, siga as etapas abaixo.
1. usando um limpador de móveis de pH moderado, limpe as impressões digitais e poeira dos lados e do painel frontal da unidade principal com um pano macio umedecido com uma pequena quantidade de limpador.
Painel, como impressões digitais e poeira.
2. use um pano seco para limpar a poeira dos componentes. Não use limpadores ou sprays perto da ótica.
A lente é uma óptica revestida e sprays de limpeza podem danificar a superfície. Para a seção sobre a limpeza do sistema de lentes, consulte
Seção “Limpeza da Óptica” no capítulo seguinte.
Consulte a documentação do fabricante para manutenção de componentes, incluindo o computador, monitor colorido, mouse, teclado e impressora (se instalado).
Os componentes a serem atendidos incluem o computador, monitor colorido, mouse, teclado e impressora (se instalado).
Se você estiver com problemas e não conseguir localizar o problema, entre em contato com Zygo.
Quando o interferômetro não é usado por um longo período de tempo após a conclusão de uma medição, remova cuidadosamente a lente e outras ópticas e armazene-as em uma caixa de lente especial.
Armazene-os no caso especial da lente.
A limpeza de qualquer óptica de precisão pode danificar a superfície. Todas as superfícies de lentes limpáveis são revestidas.
Todas as superfícies de lentes limpáveis são revestidas. Limpeza desnecessária e incorreta pode facilmente danificar o revestimento. Devemos manter nossa ótica corretamente e mantê-los fora do caminho quando não estiverem em uso.
Componentes corretamente, devolvê-los às suas caixas de plástico quando não estão em uso, e manter um ambiente limpo para minimizar o número de ciclos de limpeza.
O número de limpezas deve ser minimizado.
Não tente limpar a ótica dentro do principalUnidade como isso afetará o desempenho do sistema. Entre em contato com Zygo, se necessário.
Entre em contato com Zygo, se necessário.
Luvas de laboratório de polietileno
Use luvas para evitar a contaminação das superfícies do dispositivo e para proteger a pele do contato com substâncias químicas nocivas e irritantes.
Substâncias.
Gás comprimido com bocal
O gás comprimido com um bocal é usado para soprar poeira e sujeira da superfície da ótica.
Papel Espelho
Usado para limpar a superfície da óptica quando necessário. O papel de espelho deve ser especializado para limpar a ótica de precisão.
Cotonetes de algodão
Usado para limpar superfícies de difícil acesso, os cotonetes devem ser feitos de madeira e papel, algodão e outros materiais. Varetas de plástico se dissolvem em acetona
Varetas de plástico se dissolverão em acetona.
Solventes
Use álcool isopropílico de grau espectral e metanol para limpar contaminantes que aderem a superfícies ópticas. Use uma solução de sabão neutro 1% ou limpador óptico.
Solução de sabão de concentração ou limpador óptico para limpar contaminantes à base de óleo.
Aviso!
Deve-se ter cuidado ao usar etanol isopropílico e metanol; eles são inflamáveis e tóxicos. Não reutilize toalhetes de limpeza; a reutilização pode fazer com que a sujeira adira e danifique a ótica.
Antes de limpar a ótica, remova joias como anéis dos dedos e pulsos, lave as mãos com cuidado para remover os óleos da pele e use luvas.
Poeira ou contaminação fina
1. Sopre todos os pequenos pedaços soltos de poeira ou contaminação com o bocal.
2. Se ainda houver poeira, enrole duas folhas de papel espelhado em torno de um cotonete de madeira ou dobre uma folha de papel espelhado para que fique mais larga do que a peça a ser limpa.
3. Coloque uma gota de etanol ou metanol no papel.
4. Limpe a lente com ela uma vez em uma direção. Se for necessária mais limpeza, use um novo cotonete de madeira e papel espelhado. Impressões digitais, marcas de óleo e água NOTA: Esta condição deve ser limpa da superfície imediatamente. Ácidos na pele podem danificar a superfície da lente.
5. Sopre toda a poeira ou sujeira solta pequena com um bocal de pulverizador.
6. Se a sujeira ainda estiver presente, enrole duas folhas de papel espelhado em torno de uma vara de madeira ou dobre uma folha de papel espelhado para que seja apenas mais larga do que a parte a ser limpa.
7. Aplique uma gota de 1% de solução de sabão no papel.
8. Limpe a lente uma vez em uma direção. Se for necessária mais limpeza, use um novo cotonete e papel.
9. Repita os passos 2 a 4 usando o papel humedecido com água destilada. A fim de limpar qualquer resíduo de sabão.
10. Umedeça o papel com metanol ou etanol e repita os passos 2 a 4.
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